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发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05117077(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19910310106 申请日期 1991.10.30
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 TAKANO KIYOTAKA;FUSEGAWA IZUMI;YAMAGISHI HIROTOSHI
分类号 C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
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