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发明名称 VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG EINER VIELZAHL LEITENDER ZAPFEN IN EINER ISOLIERSCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3880051(D1) 申请公布日期 1993.05.13
申请号 DE19883880051 申请日期 1988.07.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 COTE, WILLIAM J., ESSEX JUNCTION VERMONT 05452, US;KAANTA, CARTER W. GRANDVIEW ROAD, VERMONT 05446, US;LEACH, MICHAEL A., WINOOSKI VERMONT 05404, US;PAULSEN, JAMES K. STEAM MILL ROAD, VERMONT 05465, US
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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