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发明名称 HERSTELLUNG EINER VORRICHTUNG DURCH ROENTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE MITTELS EINER STABILEN BORNITRID-MASKE.
摘要 <p>A hydrogen-free boron-containing membrane (28) is a state of tension exhibits advantageous properties for use in a mask for X-ray lithography.</p>
申请公布号 DE3877407(T2) 申请公布日期 1993.05.13
申请号 DE19883877407T 申请日期 1988.04.25
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 LEVY, ROLAND ALBERT, MURRAY HILL NEW JERSEY 07974, US
分类号 C30B29/38;G03F1/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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