| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0421476(A3) |
申请公布日期 |
1993.05.12 |
| 申请号 |
EP19900119191 |
申请日期 |
1990.10.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
ISHIHARA, SHINICHIRO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/84;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/28;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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