PREPARING SILICON NITRIDE WITH DENSIFICATION AID, AND RESULTS.

摘要

On décrit un procédé de préparation d'un matériau à base de nitrure de silicium de phase-alpha et de frittage subséquent de celui-ci en un matériau à base de nitrure de silicium de phase bêta. Ce procédé consiste à broyer finement une bouillie composée d'un mélange de poudre de silicium, d'eau, et d'au moins un agent de densification destiné à aider par la suite la densification du matériau de nitrure de silicium, le broyage étant effectué pour produire des surfaces neuves, non oxydées, sur la poudre de silicium et pour permettre à une réaction chimique importante d'avoir lieu entre le silicium et l'eau; à réduire la teneur en eau de la bouillie où a eu lieu la réaction, jusqu'à un niveau approprié pour former une masse desséchée; à effectuer la nitruration de la masse desséchée au moyen d'une exposition de celle-ci à une quantité suffisante d'un gaz de nitruration comprenant au moins de l'azote, à une température appropriée et pour une durée suffisante pour produire une masse composée sensiblement de nitrure de silicium de phase alpha; et à fritter la masse de nitrure de silicium qui en résulte à une température de frittage comprise entre environ 1450 °C et environ 2100 °C pour une durée suffisante pour convertir le nitrure de silicium d'un matériau à prédominance de phase alpha en un matériau de nitrure de silicium densifié à prédominance de phase bêta présentant une réduction en volume apparent du nitrure de silicum due à la densification.