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发明名称 MANUFACTURE OF A MICROMECHANICAL ELEMENT WITH TWO DEGREES OF FREEDOM
摘要
申请公布号 US5209818(A) 申请公布日期 1993.05.11
申请号 US19910725173 申请日期 1991.07.03
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 BOL, IGOR I.
分类号 C23F17/00;B23P11/00;B23P15/00;B81C1/00;C23F1/00;F16C33/14;G03F7/00;H01H1/00;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 C23F17/00
代理机构 代理人
主权项
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