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发明名称 VERTICAL VACUUM CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05112870(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910302462 申请日期 1991.10.21
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SATO TAKETOSHI;NAKAMURA NAOTO
分类号 C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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