发明名称 APPARATUS FOR SEMICONDUCTING MATERIALS EPITAXIAL LAYERS GROWING
摘要
申请公布号 RU1813819(C) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 SU19904912162 申请日期 1990.12.25
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT TOCHNOGO MASHINOSTROENIYA;NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT MATERIALOVEDENIYA IM.A.YU.MALININA 发明人 ARENDARENKO ALEKSEJ A;BARYSHEV ALEKSANDR V;BURAVTSEV ANATOLIJ T;LOBYZOV STANISLAV V;IVANOV VADIM I
分类号 C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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