SYSTEM ZUR AUTOMATISCHEN KONTROLLE DER DEPOSITION EINER SCHICHT IN REAL-ZEIT.
摘要
申请公布号
DE68904230(T2)
申请公布日期
1993.05.06
申请号
DE19896004230T
申请日期
1989.04.17
申请人
HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US
发明人
SMITH, RONALD T., CALIFORNIA 90277, US;YEE, EDWARD M., CALIFORNIA 91351, US;LINDER, JACQUES F.;CHERN, MAO-JIN, CALIFORNIA 90274, US;FISHER, GARY, CALIFORNIA 90249, US
