VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SRTIO(PFEIL ABWAERTS)3(PFEIL ABWAERTS)-YBA(PFEIL ABWAERTS)2(PFEIL ABWAERTS)CU(PFEIL ABWAERTS)3(PFEIL ABWAERTS)O(PFEIL ABWAERTS)7(PFEIL ABWAERTS)-SCHICHTSYSTEMS UND SCHICHTSYSTEM AUS SRTIO(PFEIL ABWAERTS)3(PFEIL ABWAERTS) UND YBA(PFEIL ABWAERTS)2(PFEIL ABWAERTS)CU(PFEIL ABWAERTS)3(PFEIL ABWAERTS)O(PFEIL ABWAERTS)7(PFEIL ABWAERTS),申请号DE19914136126-传众专利搜索

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摘要
申请公布号	DE4136126(A1)	申请公布日期	1993.05.06
申请号	DE19914136126	申请日期	1991.11.02
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 5170 JUELICH, DE	发明人	SOLTNER, HELMUT, 5176 INDEN, DE;POPPE, ULRICH, DR., 5000 KOELN, DE;URBAN, KNUT, PROF., 5170 JUELICH, DE
分类号	C23C14/08;C30B23/02;H01L39/12;H01L39/24	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
主权项
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