| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2228619(B) |
申请公布日期 |
1993.05.05 |
| 申请号 |
GB19900003315 |
申请日期 |
1990.02.14 |
| 申请人 |
* SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKASHI * YAMADA;AKIHITO * NAGAMATSU;SEIICHI * BAMBA;TETSURO * SAWAI;HARUO * NAKANO;KIMIHIKO * NAGAMI |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/338;H01L21/82;H01L21/8252;H01L27/04;H01L29/778;H01L29/812;H01P3/08;H01P5/08;H01P11/00;H03F3/60 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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