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发明名称 IMPROVED METHOD OF ANISOTROPICALLY ETCHING SILICON WAFERS AND WAFER ETCHING SOLUTION
摘要
申请公布号 AU636388(B2) 申请公布日期 1993.04.29
申请号 AU19900063141 申请日期 1990.09.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LARRY WILBUR AUSTIN;HAROLD GEORGE LINDE
分类号 H01L21/308;H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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