| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05102322(A) |
申请公布日期 |
1993.04.23 |
| 申请号 |
JP19910290500 |
申请日期 |
1991.10.11 |
| 申请人 |
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OCHIAI JUNICHI |
| 分类号 |
H01L27/118;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/52;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L27/118 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
