发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05102430(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19920073890 申请日期 1992.03.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKUDAIRA TOMOHITO;MOTONAMI KAORU
分类号 G11C11/401;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/00;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/12 主分类号 G11C11/401
代理机构 代理人
主权项
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