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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05102042(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910257516 申请日期 1991.10.04
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TABATA TAKAO;DOI AKIRA;KUWABARA SO;NAKAHIGASHI TAKAHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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