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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES DUENNEN FILMS EINES PEROWSKIT-MATERIALS
摘要
申请公布号 DE4142849(A1) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 DE19914142849 申请日期 1991.12.20
申请人 HEINRICH-HERTZ-INSTITUT FUER NACHRICHTENTECHNIK BERLIN GMBH, 1000 BERLIN, DE;BELLCORE, BELL COMMUNICATIONS RESEARCH USA, RED BANK, NJ., US 发明人 YILMAZ, SUEKRUE, 1000 BERLIN, DE;VENKATESAN, THIRUMALAI, WASHINGTON, D.C., US
分类号 C01G1/00;C23C14/08;C23C14/28;C30B23/02;C30B23/08;C30B29/22;C30B29/30 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
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