发明名称 HERSTELLUNGSTECHNIK EINER HALBLEITERSTRUKTUR.
摘要
申请公布号 DE3781619(T2) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 DE19873781619T 申请日期 1987.07.28
申请人 BRITISH TELECOMMUNICATIONS P.L.C., LONDON, GB 发明人 WESTBROOK, LESLIE DAVID, IPSWICH SUFFOLK, GB
分类号 H01L21/308;H01L21/306;H01L21/764;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/227;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/76 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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