发明名称 Method for detecting testing faults whilst testing micro-interconnections.
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von Testfehlern beim Test, insbesondere Elektronenstrahltest, von Mikroverdrahtungen in Form einer Leiterplatte (LP) mit einer Mehrzahl von Netzwerken (NW1 ... NW9), wobei jedes Netzwerk eine Mehrzahl von Kontaktpunkten (1 ... 24) besitzt, bei dem in einem jeweiligen Haupttest festgestellte Unterbrechungen (U) in Netzwerken (NW2) und Kurzschlüsse (K1, K2) zwischen Netzwerken (NW1 ... NW3) einer Testgruppe (TG1) bzw. Kurzschlüsse (K3) zwischen Netzwerken (NW2, NW4) verschiedener Testgruppen (TG1, TG2) in einem jeweiligen Nachtest bestätigt oder im Haupttest auftretende, beispielsweise durch Mikrofelder oder Oberflächenverunreinigungen verursachte Testfehler festgestellt werden. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0537505(A1) 申请公布日期 1993.04.21
申请号 EP19920116103 申请日期 1992.09.21
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR.;SCHMID, RALF
分类号 G01R31/02;G01R31/306;H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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