| 发明名称 |
Process for cleaning integrated circuits during fabrication |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE922720(A1) |
申请公布日期 |
1993.04.21 |
| 申请号 |
IE19920002720 |
申请日期 |
1992.10.09 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS |
发明人 |
DAVID ALLEN ROBERTS;JOHN CHRISTOPHER IVANKOVITS;DAVID ARTHUR BOHLING |
| 分类号 |
C11D7/02;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;C23G5/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H05K3/26;(IPC1-7):H01L21/306;C09K3/00 |
主分类号 |
C11D7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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