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经营范围
发明名称
COATING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH0592161(A)
申请公布日期
1993.04.16
申请号
JP19910114507
申请日期
1991.05.20
申请人
HITACHI LTD;SHINKAWA LTD
发明人
OKAMOTO MICHIO;NISHIMURA AKIHIRO
分类号
B05C5/00;H01L21/56
主分类号
B05C5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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