发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0594749(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910254035 申请日期 1991.10.02
申请人 NEC CORP 发明人 YANO AKIHIRO
分类号 G01P15/12;H01H35/14;H01L29/84 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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