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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEMENTEN MIT ZWISCHENRAUM.
摘要
申请公布号 DE3781660(T2) 申请公布日期 1993.04.15
申请号 DE19873781660T 申请日期 1987.11.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL, PARIS, FR 发明人 SIBUET, HENRI, F-38120 SAINT EGREVE, FR
分类号 H01L21/3205;G11B5/31;H01F41/34;H01L21/033;H01L21/28;H05K3/14;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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