| 摘要 |
<p>Dispositif à laser dans lequel on prolonge la vie utile des composants optiques en empêchant un échangeur thermique de produire des poussières, l'échangeur thermique est de petite taille, et le rendement est élevé. Un échangeur thermique à plaques (41) sert de dispositif refroidisseur d'un dispositif à laser (1). Etant donné que l'on peut éliminer au cours du processus de fabrication les poussières produites par l'échangeur thermique à plaques (41), les poussières provenant de l'échangeur thermique ne pénètrent pas dans un laser (2), et la vie utile des composants optiques (25, 26) est fortement prolongée. En outre, puisqu'on peut réduire à la fois la taille et le poids de l'échangeur thermique à plaques (41), on peut simplifier un système (3) de mise en circulation de gaz de laser. Par ailleurs, on peut placer ledit échangeur thermique à plaques (41) à proximité d'un orifice de sortie (20) de gaz de laser puisque l'effet des vibrations appliquées à un tube à décharge (21) est réduit. Ainsi, on arrive à augmenter le débit du gaz de laser grâce à la réduction de sa résistance de frottement, et on peut augmenter la puissance du laser.</p> |
