发明名称 METHOD OF TREATING WAFER
摘要
申请公布号 JPH0590250(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910274919 申请日期 1991.09.27
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA NAOTO;MIYA HIRONOBU;ENDO YOSHIHIDE
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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