发明名称 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0588363(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910249329 申请日期 1991.09.27
申请人 TORAY IND INC 发明人 OOSETO HIROKI;KATAOKA MUTSUO
分类号 G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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