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发明名称 FILM CARRIER TAPE
摘要
申请公布号 JPH0590342(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910092765 申请日期 1991.03.29
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA F EE SYST ENG KK 发明人 KOJIMA JUNICHI;TAKEUCHI FUMIAKI;HIGUCHI TSUYOSHI;KAWAI ISAMU;HAYASHI TAKAO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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