REDUCED PROJECTION EXPOSURE,申请号JP19910242244-传众专利搜索

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发明名称	REDUCED PROJECTION EXPOSURE
摘要
申请公布号	JPH0582414(A)	申请公布日期	1993.04.02
申请号	JP19910242244	申请日期	1991.09.24
申请人	NEC KYUSHU LTD	发明人	TOMIYASU SUEHIRO
分类号	G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	G03B27/32
代理机构		代理人
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