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申请公布号 DE3117950(C2) 申请公布日期 1993.04.01
申请号 DE19813117950 申请日期 1981.05.06
申请人 XEROX CORP., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 POLESHUK, MICHAEL;WYSOCKI, JOSEPH J., WEBSTER, N.Y., US
分类号 H01L29/78;G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L27/10;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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