| 发明名称 | 真空蒸发设备 | ||
| 摘要 | 一种真空蒸发设备，包括一真空容器，一蒸发源和一夹持装置。蒸发源位于真空容器内。一基片由位于蒸发源上方的夹持装置夹持。一防沉积板设置于设备内。真空容器由防沉积板划分成一包括蒸发源的部分和一包括夹持装置的部分。防沉积板带有位于蒸发源上方的孔。孔这样成型，即当从蒸发源看夹持装置时孔与夹持装置重叠。 | ||
| 申请公布号 | CN1070434A | 申请公布日期 | 1993.03.31 |
| 申请号 | CN92110361.1 | 申请日期 | 1992.09.08 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 早川菜;龟山诚;寺田顺司;铃木博幸 |
| 分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人 | 曾祥凌 |
| 主权项 | 1、一种真空蒸发设备，包括：一真空容器；一设在所述真空容器内的蒸发源；一设在所述真空容器内所述蒸发源上方的用以夹持一基片的夹持装置；和一块将所述真空容器划分成一包括所述蒸发源的部分和一包括所述夹持装置的部分的防沉积板，所述沉积板在所述蒸发源上方的一位置带有一个孔。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||