发明名称 METHOD OF FABRICATING A SUBMICRON SILICON GATE MOSFET WHICH HAS A SELF-ALIGNED THRESHOLD IMPLANT
摘要
申请公布号 GB2227880(B) 申请公布日期 1993.03.31
申请号 GB19890023884 申请日期 1989.10.24
申请人 * STANDARD MICROSYSTEMS CORPORATION 发明人 JOHN E * BERG
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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