点测机两用转换结构以及两用点测机

摘要

本实用新型提供了点测机两用转换结构以及两用点测机，涉及半导体测试用的点测机，其用于解决点测机对于垂直结构半导体芯片与水平结构半导体芯片不能通用的问题。该技术方案为：包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，其中第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。

主权项

一种点测机两用转换结构，包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；其中，晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；其特征在于：还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。