发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR930002287(B1) 申请公布日期 1993.03.29
申请号 KR19900003122 申请日期 1990.03.09
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 YAMADA, TAKASHI;HORIGUCHI, FUMIO;INOUE, SATOSHI;NITAYAMA, AKIHIRO
分类号 H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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