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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0574361(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910262802 申请日期 1991.09.13
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 OGATA KIYOSHI;NISHIYAMA SATORU;TANII MASAHIRO
分类号 H01J1/02;H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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