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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0574961(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910237987 申请日期 1991.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAGI HIDEO;YOSHIDA AKIHIRO
分类号 H01L21/318;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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