| 发明名称 | 一种合金微晶涂层的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种合金微晶涂层的制备方法，系属于合金领域，其特征在于采用以基体相同成分的合金为靶材，通过平面磁控溅射一层微晶涂层，其溅射工艺参数为；氩气工作压力：0.1～1.0Pa；溅射电压：500-750V，工件温度：200-400℃。上述的合金系指高温合金、不锈钢、钛合金。 | ||
| 申请公布号 | CN1070234A | 申请公布日期 | 1993.03.24 |
| 申请号 | CN91106221.1 | 申请日期 | 1991.08.30 |
| 申请人 | 中国科学院金属腐蚀与防护研究所 | 发明人 | 楼翰一;王福会;张立新;夏邦杰 |
| 分类号 | C23C14/16;C23C14/35 | 主分类号 | C23C14/16 |
| 代理机构 | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人 | 闵宪智 |
| 主权项 | 1、一种合金微晶涂层的制备方法，其特征在于采用以基体相同成份的合金为靶材，通过平面磁控溅射一层微晶涂层，其溅射工艺参数为：氩气工作压力： 0.1～1.0Pa溅射电压： 500-750V工件温度： 200-400℃ | ||
| 地址 | 110015辽宁省沈阳市南塔街文萃路62号 | ||