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发明名称 CAPACITIVE ROUGHNESS SENSOR
摘要
申请公布号 RU1803723(C) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 SU19914921261 申请日期 1991.03.21
申请人 N-PROIZV OB PO TEKHNOLOGII MASH "TSNIITMASH" 发明人 SHCHERBINSKIJ VIKTOR G,SU;BERMAN MIKHAIL D,SU;ZABORTSEV SERGEJ A,SU;PETROV EVGENIJ E,SU
分类号 G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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