发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0572068(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910235039 申请日期 1991.09.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OHATA SATORU;HOSHINO YUKIO;FUKAI WATARU;HAYASHI TADAHIRO;WATANABE TAICHI;ISHII AKIRA
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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