发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0572068(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
申请号 |
JP19910235039 |
申请日期 |
1991.09.13 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OHATA SATORU;HOSHINO YUKIO;FUKAI WATARU;HAYASHI TADAHIRO;WATANABE TAICHI;ISHII AKIRA |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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