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发明名称 ECR TYPE PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0565655(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910229362 申请日期 1991.09.10
申请人 SONY CORP 发明人 HASEGAWA TOSHIAKI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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