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发明名称 LAMINATED STRUCTURE TYPE SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0567616(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910254201 申请日期 1991.09.06
申请人 NEC CORP 发明人 TAMEDA SHIGEHITO
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L27/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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