| 摘要 |
Il est décrit une micropompe à membrane (1) à commande électrostatique comportant un premier corps de pompe (2; 32) comme corps de contre-électrode, ainsi qu'un deuxième corps de pompe (3, 33), lequel présente une zone de membrane (6). Les deux corps de pompe (2, 32; 3, 33) définissent une cavité (10) adjacente à la zone de membrane (6) et sont électriquement isolés l'un de l'autre. La cavité (10) est remplie d'un fluide différent du fluide à pomper. Les corps de pompe (2, 32; 3, 33) peuvent être constitués d'un matériau semiconducteur de types de charge différents. Le fluide se trouvant dans la cavité a de préférence une constante diélectrique élevée. |
