首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 PLASMA AMPLIFIED PHOTOELECTRON PROCESS ENDPOINT DETECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0320425(B1) 申请公布日期 1993.03.17
申请号 EP19880480065 申请日期 1988.10.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KELLER, JOHN HOWARD;SELWYN, GARY STEWART;SINGH, JOYTHI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com