发明名称 NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0563208(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19920012398 申请日期 1992.01.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ARAKI HITOSHI;SASAKI HIROYUKI;KANEBAKO KAZUNORI
分类号 H01L21/316;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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