| 发明名称 |
PLASMA GENERATING DEVICE AND EXCHANGING METHOD FOR CATHODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0562794(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910250417 |
申请日期 |
1991.09.03 |
| 申请人 |
SANKO:KK |
发明人 |
TAKIGUCHI SHINYA;ITO HIROYUKI;KAMINAGA TOSHIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/02;H01J37/08;H05H1/34 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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