发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0563093(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910222894 申请日期 1991.09.03
申请人 CANON INC 发明人 AKINO YUTAKA
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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