| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0562991(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910225552 |
申请日期 |
1991.09.05 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SATO FUMIHIKO;TASHIRO TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L29/165;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/737 |
主分类号 |
H01L29/165 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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