| 发明名称 |
MONITORING METHOD FOR RESIST COATING DEVICE AND THE RESIST COATING DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0562893(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910223232 |
申请日期 |
1991.09.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUJIE NOBUO;YANAGIBASHI YASUO |
| 分类号 |
B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
