发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555385(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910214923 申请日期 1991.08.27
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUBARA SHINYA
分类号 H01L21/768;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址