发明名称 FORMATION OF INSULATED-GATE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555246(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910238712 申请日期 1991.08.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;TAKEMURA YASUHIKO
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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