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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555248(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910213535 申请日期 1991.08.26
申请人 SHARP CORP 发明人 AZUMA KENICHI;KAWAMURA AKIO
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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