发明名称 SOI SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0555359(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910218982 申请日期 1991.08.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAOKA MATSUO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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